CS CLEAN SOLUTIONS에서 제공하는 대기오염 방지시설은 화학흡착 기술(Chemisorption-Absorption)을 사용하여 처리 효율이 매우 우수하며, 동시에 오염물질 저감시스템의 구성과 작동법이 매우 간단하여, 사용하기 편리합니다. CLEANSORB 건식 약제 스크러버(Dry Bed Scrubber)는 전기, 물, 연료를 소비하지 않으므로 매우 자연-환경 친화적인 시스템(Eco-Friendly system)입니다. 다량의 기체상 독성/유해가스(Toxic & Hazardous gases in gas phase)를 고체상 흡수제( (CLEANSORB Absorbent Granulate in solid phase) 에 결합시킴으로 매우 높은 수준의 안정성(Highsafety & reliability)을 보증합니다. 사용된 CLAEANSORB 용 컬럼(Column & Canister)은 폐기하지 않으며 내부의 사용된 CLEANSORB만을 교체하여 폐기를 진행하고, 기존 사용했던 컬럼(Column & Canister)에 신규 CLEANSORB을 재충전하여 사용합니다. 기본적으로 CELANSORB 약제(Granulate)는 유해가스(Toxic & hazardous gases)를 물리화학적으로 안정한 무기염 형태로 화학반응을 유도하는 매우 환경친화적인 기술이 적용되어 있습니다. CLEANSORB은 대학의 연구실부터 소규모 공장, 24시간 Wafer, LED를 생산하는 자동화 공장까지 모든 고객의 요구를 충족시킬 수 있는 제품군이 존재하여, 조건과 상황에 맞는 다양한 CLEANSORB시스템을 제공할 수 있습니다. CS CLEAN SOLUTIONS은 건식 세정 (Dry bed chemisorption) 기술분야에서 30년 이상의 경험을 보유하고 있으며, 또한 모든 공정 분야에 최적화된 솔루션을 제공해드립니다.
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- PROCESS APPLICATION
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- Ion Implantation
- Plasma Etch
- ALD
- LP, PE, HDP-CVD
- Chamber Clean
- Photovoltaics
- MOCVD
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- CLEAN-PROTECT
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여러 대의 Cabinet exhaust line을 연결하여
비상시(gas leakage) cabinet 배기로배기용
대용량 Dry Bed system
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- CLEANSORB
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POU SCR`, Dry bed type
공정에서 배출되는 gas의
안정적인 처리 및 배출
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- CLEANVENT
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Gas cabinet 내부
Gas supply line vent line에 설치하여
여분의 gas를 안전하게 배출
