PRODUCT

CLEANSORB ® FABLINE

FABLINE은 제품 양산 체계가 구축된 대규모 공장에서 독성/유해가스 처리가 가능한 CLEANSORB의 표준 시스템 모델입니다. 세가지 컬럼(Column) 사이즈로 제공되는 이 표준 시스템은 시제품 또는 완전 양산 체계의 제조공장에 쉽게 적용될 수 있습니다.
CLEANSORB의 안정성과 효율성으로 FABLINE은 전세계적으로 5,000 대 이상의 시스템이 설치 되어있습니다.
- Plasma Etching, CVD, ALD, Ion Implantation, CIGS Photovoltaics 적용가능

>Advantages
  • 추가적인 에너지 투입 없이 작동 가능하며, 온도/압력/농도 센서 사용을 위한 소량의 전기 이외에 가열을 위한 연료 또는 전기, 시스템 냉각을 위한
    PCW 혹은 폐가스 처리를 위한 물을 사용하지 않음.
  • 내부식성 316L 스테인리스 스틸로 제작되며 각 부품들은 높은 신뢰성(Reliability)을 갖는 고품질의 구성품으로 제작.
  • 컬럼(Column)에 대한 압력 유지 검수(품질 검사) 및 컬럼(Column) 교체를 위한 자동화된 가스 퍼지(purge) 시스템 장착.
  • 양산 제조 시설의 배기 시설 용량이 충분치 못한 경우, 시스템 내부에 장착 가능한 블로워(Blower)가 포함되어 높은 운영 안정성 제공.
  • 이중 안전장치(Independently Dual interlock) 기능이 있는 SEMI-S2 인증 완료.