- CLEANSORB® C ore Technology
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CS CLEAN SOLUTIONS의 연구소에서 개발된 특수 약제 (흡수제)
비연소/비가연성 무기물(inorganic medium)기반의 높은 안정성
높은 흡수/흡착 능력과 높은 성능의 약제 수명
공정별 최적화된 고유의 약제 배합 조건 및 비율
반응 후 부산물 미생성 (By-Products)
뛰어난 Cost-of-Ownership
상온조건에서 비가역 반응(irreversible reaction)에 기인한 유독성물질의
무기물질로의 화학 변환
- Column & Canister
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반도체 웨이퍼(Wafer) 가공 및 기타 제조업계에서 사용되는 대다수의 특수 공정가스는
자연 발화성, 독성 또는 부식 특성을 갖고 있습니다.CS CLEAN SOLUTIONS은 상온의 건식 흡수 흡착 (Dry bed chemisorption)기반의
기술을 보유하고 있으며, System 에서 배출되는 독성/유해 공정 가스(Toxic & Hazardous gases)를 고체상 흡수제(Granulated Absorbent, CLEANSORB)에 흡수하여 고체상태의 안정한 무기염 형태로 화학반응을 유도하고 있습니다.기체상 가스와 고체상 흡수제(Granulated Absorbent, CLEANSORB)간의
화학 흡수반응(Chemisorption)은 비가역적(Irreversible reaction)이므로 유해가스가
고체형태로 결합되어 재 배출 될 수 없습니다.CS CLEAN SOLUTION의 화학흡착기술(Chemical-Absorption)은 일반적인 스크러버의
처리효율(Destruction and Removal efficiency, DRE %)보다 더욱 강화된 기준인
TLV (Threshold limit value, ppm) 이하 배출을 보증합니다.